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无尘净化车间洁净度等级表是什么?净化车间的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10) M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。无尘净化车间洁净度等级表是什么?
就一般级别而言,表11可以作为参考。
表11,各产业所要求的净化车间级别一览
领域和产业
洁净度标准(级别)
内容
SI
English unit
半导体工业(IC、LSI等)
掩模板对准工艺
M3.5
100
刻蚀工艺
M3.5
100
腐蚀加工
扩散工艺
M3.5
100
高纯度扩散
蒸着工艺
M3.5
100
高纯度电镀
涂布工艺
M3.5
100
感光剂涂布
电子设备
计算器制造
M5.5
10,000
磁头
阴极射线管
M5.5
10,000,
遮屏
磁带
M5.5
10,000
防止杂音
精密仪器
陀螺、微型轴承
M5.5
10,000
提高精度
导弹部件、继电器
M5.5
10,000
防止误动作
钟表、小型计量仪器
M5.5
10,000
组立、封装、修理
光学、印刷
照相机、印刷电路板
M5.5
10,000
制作
镜头、胶片
M4.5
1,000
连接
电子制版
M5.5
10,000
制作、检查
化学药品
注射液充填
M3.5
100
调和、充填
无菌动物养育
M3.5
100
SPF
化学药品
抗生物
M5.5
10,000
充填、检查
一般医疗品
M6.5
100,000
制造
食品
酿造、发酵
M5.5
10,000
防止酱油、大酱腐坏
乳制品、生食品
M6.5
100,000
防止酸乳酪变质
食肉加工
M5.5
10,000
火腿、香肠
搅拌(弄成糊状)食品
M5.5
10,000
搅拌后备烤的圆筒形、半圆形鱼肉、鱼肉山芋丸子等食品制冷时防止细菌粘附上。
医疗
手术室
M3.5
100
股关节手术、脏器移植
特殊治疗室
M3.5
100
白血病、烫伤
恢复、新生儿室
M3.5
10,000
早产儿、术后防止感染
临床检查
M5.5
10,000
菌类培植、检查
农林畜产
蘑菇栽培
M5.5
10,000
防止蘑菇种菌被杂菌感染
植物
M6.5
100,000
兰花栽培(试验用无菌植物、强势培植植物)
养殖
M5.5
10,000
防止鱼、蚕类因菌侵袭致死
微生物工程
一般病原体
M3.5
100
马尔堡病毒、拉萨氏热、艾伯拉出血热(排出空气)
基因转换
M3.5
100
大肠菌(排出空气)
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